??? 王曦院士展示他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)研發(fā)生產(chǎn)的光潤(rùn)無瑕、晶瑩透剔的“三明治”SOI圓片。穿上凈化服、戴上口罩、經(jīng)過強(qiáng)風(fēng)的“風(fēng)淋”后，記者走進(jìn)了上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

??? 展現(xiàn)在眼前的是一個(gè)擺滿了高科技儀器設(shè)備的潔凈世界，許多穿著凈化服、戴著口罩的科研人員，在不同的機(jī)器之間穿梭忙碌。

??? 這里是我國(guó)最先進(jìn)的高端硅基集成電路晶圓片材料SOI研發(fā)平臺(tái)，也是中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)王曦院士為之奮斗十多年的地方。 新華社記者 劉穎 攝